随着电路小型化、集成化发展的要求,电路尺寸不断缩小,要求厚膜电路具有更高的图形分辨率。在保证厚膜电路电性能及其他性能的前提下,必须将线条做得越来越细,这就是细线技术或细线工艺。采用细线技术能够实现25μ m 的图形
分辨率。
在同一基片上采用多层布线结构也可以大大提高电路的组装密度,多层化布线结构采用多层化印刷技术制作。
细线印刷和多层化印刷对浆料、丝网、掩模等提出了更高的要求。
细线印刷的厚膜浆料必须具有高触变性,在浆料中常加入质量分数0.1%~1.0%的触变剂以改善浆料的触变性。皂土、胶体Al2O3、胶体SiO2、硅酸钙和胶体氧化钙等是常用的无机触变剂。浆料中的无机微粒尺寸也更加细小,一般为0.5~1.Oμ m 。分散性更好的单球形颗粒更加有利于细线印刷,一些浆料供应商针对细线印刷开发了单球形浆料。
为了提高细线印刷的分辨率,对丝网也不断进行改进。例如,有研究表明,增加不锈钢丝网中碳的含量,同时减少镍含量而保留附加的氮,这样可以增加丝网的抗拉伸强度,用较细的线径获得更好的强度,网孔开口面积从40%提高到60%,从而提高细线精度。采用不同于传统金属掩模的新型金属箔掩模,这种掩模表面平整且具有陡直的边界,也有利于提高细线分辨率。
多层化印刷中,常用逐层印刷法,即交替地印烧导体层与介质层,这种方法生产工序少.生产效率较高。由于多种厚膜元件共存,进行多次印烧,要求导体、介质、电阻等各种浆料的相容性好、附着力强、热膨胀系数匹配。