氧化钢锡( ITO )透明导电膜的成分是氧化锢中掺锡(In2O3:Sn),它具有非常优良的性能:高导电率、高可见光透射率、高红外反射率、机械和化学性能稳定以及用湿法刻蚀很容易形成电极图形等。
锡掺杂的氧化锢是一种体心立方铁锰矿结构的 n 型半导体透明导电薄膜,具有以下特性:①导电性能好(电阻率可低达10~4Ω· cm ),带隙(3.5~4.3eV),载流子浓度(1021 cm 3)和电子迁移率(15~45cm2/( V · s ))较高;②在可见光波段透过率高,可达85%以上;③对紫外线的吸收率较高,可达85%以上;④对红外线具有反射性,反射率高于80%;⑤对微波具有衰减性,衰减率可达85%以上;⑥膜层硬度高,耐磨,耐化学腐蚀(氢氟酸等除外);⑦膜层具有很好的酸刻、光刻性能,便于细微加工,可以被刻蚀成不同的电极图案。由于具有上述优良特性,
ITO 薄膜被广泛用于平面显示、电致变色( EC )窗、太阳能电池透明电极、微波
屏蔽和防护镜、交通工具的风挡玻璃等。 ITO 薄膜一般具有大于可见光子能量(3.1eV)的光学禁带宽度,可见光照射不能引起本征激发,所以它对可见光透明。
ITO
薄膜因其优良的性能而成为研究和应用的热点,并逐步完善了其制备工艺,形成了产业化生产,得到了广泛的应用。在某种程度上 ITO 已成为透明导电氧化物薄膜的代名词。目前,市场上使用的透明导电氧化物薄膜的技术是成熟的,但由于 In 、 Sn 等材料自然储量少、制备工艺复杂、成本高、有毒、稳定性差,因此限制了它的广泛使用。