常温时，钛为六方晶体，在885℃时，转变为体心立方晶体，晶格常数 a =0.295nm, c =0.46838nm。钛易与其他金属生成置换型合金。钛的密度为4.5g/cm2，熔点1660℃，沸点3287℃，汽化温度1577℃，线胀系数8.6x10-6/℃，电阻率55pΩ. cm ，电阻率温度系数3500ppm/℃。
      通常采用真空蒸发或溅射制备钛膜。原材料为高纯（99.99％以上）钛丝或钛板。钛层主要起粘附层的作用，对于玻璃和陶瓷基片的附着力与铬大致相同。钛层的典型厚度为50nm，金层厚度为1000nm。
      Ti - Au 膜的抗蚀性好，其耐潮性优于 NiCr - Au 膜。这可能是由于钛形成一层更好的氧化物保护层，电化学效应对膜层性能的影响程度比 NiCr 小。 Ti - Au 膜在高湿环境下，阻值会缓慢增大。
     在 Ti - Au 复合膜中， Ti 和 Au 之间会发生互扩散，温度在350℃以上时，互扩散现象严重，阻值大幅度增加；而在350℃以下，膜层的性能比较稳定。在250~350℃的温度范围内，膜的阻值略有增大。 Ti - Au 膜在150℃和250℃老化1000h，阻值增加在初始值的5％以内，老化还使附着力下降，电阻噪声增大。在105~10° A /cm2的电流密度下， Ti - Au 膜有明显的电迁移现象，因此，它不适宜用于功率较大的电路中作导体。