从整个可靠性工程的发展来看，失效分析是在20世纪50年代后期由美国首先开始的。在失效分析的发展过程中，美国罗姆航空发展研究中心做了大量工作，起到了巨大的推动作用，今天它发展成为一门涉及材料学、物理学、化学、金属学、冶金学等专业，并要广泛应用扫描电子显微镜、离子探针、能谱仪、 X 射线探测仪、光谱仪等现代理化分析仪器的边缘学科。

      传感器工程是从20世纪70年代开始以微电子技术为基础发展起来的。在美国、日本等国家，它一开始就与可靠性工程结合得非常紧密，现已进入到将传感器失效分析的成果应用到质量控制系统中以实现产品的可靠性保证阶段。失效分析的成果也已成为新型传感器的开发及老品种传感器改进设计中必不可少的依据。从今后的发展趋势来看，将主要研究新的分析技术在传感器失效分析中的应用，研究计算机辅助可靠性分析，将硬件可靠性与软件可靠性综合起来，纳入整个失效分析度量中去，使未来的 CAD 数据库不仅可以提供可靠性预测、失效树分析（ FTA )、寄生电路分析等可靠性数据，也可以提供失效模式、失效模式分布、失效物理模型影响及致命度分析（ FMECA ）的信息。同时也将研究传感器的计算机辅助失效分析与计算辅助可靠性设计的结合，促使可靠性研究软件的商品化。

      在国内，传感器的失效分析研究工作在"七五"期间刚刚开始，研究条件还较差，水平也较低。因此，为了尽快使我国传感器的可靠性水平有所提高，大力开展传感器的失效分析研究，培养失效分析的专业人员，建立有一定先进水平的分析实验室是今后的主要任务。