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什么是磁场反应溅射
2022-12-30 17:56:30
【文章】
一般而言,采用直流磁控溅射金属靶材沉积具有较快的速率,而采用射频磁控溅射化合物靶材沉积化合物薄膜沉积速率较慢。
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